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空天微纳系统教育部重点实验室
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空天微纳系统教育部重点实验室成立于1992年,是国内较早开展微机电系统(MEMS)研究的单位之一。实验室以微机电系统技术为核心,以纳机电系统(NEMS)技术为深入方向,以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。实验室是面向全国开放的微机电系统研究和人才培养的重要基地,具备国内一流、国际先进研究条件,在微机电系统设计、制造、自主研发方面有雄厚实力。

实验室主要研究方向包括航空航天微机电系统技术、微纳器件设计制造技术、微纳功能结构技术等。获国家技术发明二等奖2项,省部级科技成果奖十余项。实验室积极开展学术交流与合作,除了与我国航空、航天、船舶、兵器、电子等国内诸多骨干单位建有密切协作关系外,还与美国加州理工大学、加州大学伯克利分校、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、南安普敦大学等建有良好学术合作关系。

 

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